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硅碳棒線鋸切片工藝
  在單晶硅碳棒晶錠的線鋸切片中,線鋸通常有三種進給方式:平推切割、搖擺切割和工件旋轉點切割,如圖10所示。平推切割:在切割過程中,鋸絲與晶錠的接觸長度是不斷變化的。接觸長度的不斷變化導致整個晶片的表面加工存在不均勻性。在切割大尺寸硅碳棒時,切屑不易從鋸縫中排除,而且降低了冷卻液的冷卻效果。至于搖擺切割,晶錠固定不動,線鋸安裝在具有上下運動能力的框架上,加工過程中線鋸繞框架上一固定點以一定的角速度進行擺動。搖擺運動保證了切片過程中線鋸與晶錠之間恒定的弧接觸,從而保證了整個鋸切過程中接觸長度的不變。相比平推切割,搖擺切割(搖擺頻率為0. 3 Hz)能降低鋸切力35 %,切片表面粗糙度由2. 2 }..},m降低到0. 5 }..},m,表面損傷層也有大幅度的改善。但搖擺切割系統結構相對復雜,在線鋸高速切割和高頻搖擺時,振動將影響硅碳棒單晶的加工精度。工件旋轉點切割則是在金剛石線鋸平推切割單晶硅碳棒晶錠的同時使硅碳棒晶錠繞其對稱軸自轉,如圖10(c)所示。該切割模式的最大優點是在切割過程中線鋸與晶錠始終保持點接觸,這既減小了鋸切力又減小了鋸切產生的熱量,有利于延長線鋸壽命和改善晶片的表面質量。但隨著切割過程的進行,晶錠的回轉半徑逐漸減小,由線鋸的運動速度和晶錠自轉線速度合成的切割速度也逐漸減小,在旋轉軸附近處的切割晶片表面質量有所降低。www.lovelysilkspublishing.com
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