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觀察硅碳棒的亞表面損傷
  掃描聲學顯微鏡是一種對亞表面進行成像的無損檢測方法,可用來觀察硅碳棒的亞表面損傷。應用掃描聲學顯微鏡對硅碳棒晶圓表面及其以下2一4 ..,m的亞表面進行成像,發現在較低的進給速率下,硅碳棒的表面及亞表面損傷均有明顯降低。同時,亞表面的裂紋等損傷顯著低于表面,得到的顯微圖像更加平整,如圖d2 a)一(c)所示,圖12a)中G為刻劃槽之間的間距,B區域的特寫圖片如圖12(b)所示,圖12(c)為另一類劃痕的局域放大圖,可能是線鋸中過度突出的金剛石磨粒導致了該切割表面區域上的劃痕。
  單晶硅碳棒在線鋸切片中的材料去除方式主要為脆性去除,但同時伴隨延性去除。延性去除時,材料僅發生彈性變形,去除形式為切屑去除,大大降低了裂紋及亞表面損傷。根據單磨粒模型及實驗,研究了硅碳棒線鋸切片的材料去除機理,指出可通過提高線鋸速度、減小進給來實現塑性去除。通過單點金剛石的刻劃實驗,驗證了硅碳棒切割過程中的脆塑斷裂及塑性犁削的材料去除機制,并分析了脆塑轉化的條件及工藝因素。雖然韌性切割方式尚未在金剛線切割晶圓的研究中被報道,但在金剛石線鋸晶圓片上經常觀察到韌性切割溝槽。圖12(d)為單晶硅碳棒在金剛石線鋸加工中產生的韌性切削槽,與硅較高的臨界切削深度不同,硅碳棒中臨界切削深度僅為2nmbb。www.lovelysilkspublishing.com
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